No campo de vanguarda da fabricação de semicondutores, qualquer pequena alteração no ambiente de produção pode ter um impacto decisivo na qualidade do produto.Como fabricante profissional com anos de experiência na indústria de equipamentos de purificação, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. compreende profundamente a posição central do controle da diferença de pressão do fluxo de ar em salas limpas de semicondutores.Vamos analisar de forma abrangente as soluções de controle de diferença de pressão do fluxo de ar para salas limpas de semicondutores, ajudando a criar um ambiente de produção estável e eficiente.
Controle da diferença de pressão do fluxo de ar: a principal linha de defesa na produção de semicondutores
Resistindo à invasão de poluentes
O processo de fabricação dos chips semicondutores é extremamente delicado.podem causar problemas graves, como curto-circuito e circuito aberto nos chips.Tomemos o processo de litografia de chips avançados como exemplo. A largura da linha nos chips atingiu o nível de nanômetros. Uma partícula de poeira com um diâmetro de apenas 0.1 micrômetro é suficiente para causar desvios no padrão litográficoAo construir razoavelmente a diferença de pressão do fluxo de ar e manter a sala limpa num estado de pressão positiva, os poluentes externos podem ser efetivamente bloqueados,Construção de uma barreira de proteção invisível para a produção de chips.
Garantir o funcionamento estável do processo
A fabricação de semicondutores abrange uma variedade de processos complexos, tais como litografia, gravura e dopagem.e limpezaUma diferença de pressão estável no fluxo de ar pode garantir que os parâmetros ambientais de cada área sejam sempre mantidos dentro da gama exigida pelo processo.A fim de garantir um bom andamento do processo,No processo de gravação, se o fluxo de ar for instável, a distribuição do gás de gravação será desigual,levando a taxas de gravação inconsistentes e afetando seriamente a precisão de gravação e a qualidade do produto das fichas.
Soluções de controlo preciso da diferença de pressão do fluxo de ar para criar um espaço de produção puro
Divisão científica da área e definição precisa da diferença de pressão
- Área de produção principal: Processos essenciais, tais como litografia, gravação e dopagem, são realizados nesta área, onde os requisitos de limpeza e pressão positiva são extremamente elevados.Recomenda-se que a pressão na zona de produção principal seja de 15 a 25 Pa superior à pressão das zonas auxiliares adjacentes., minimizando assim o risco de invasão de poluentes externos e garantindo que o processo de fabrico de chips não seja perturbado pela poluição.
- Área de produção auxiliar: Áreas auxiliares, como a área de armazenamento temporário de materiais e a área de manutenção de equipamentos, embora os requisitos de limpeza sejam ligeiramente inferiores aos da área de produção principal,ainda precisa manter uma certa pressão positivaGeralmente,É de 5 a 10 Pa superior às áreas como os corredores ordinários para evitar que os poluentes dos corredores entrem na área auxiliar e ponham em perigo o ambiente da área de produção principal..
- Passagens de pessoal e material: Para as passagens onde o pessoal e os materiais entram e saem da oficina, é necessário ajustar cuidadosamente um gradiente de diferença de pressão razoável para formar um efeito de bloqueio de ar eficaz.Ao entrar na área limpa a partir da área não limpa, a pressão aumenta gradualmente a cada porta que passa, agindo como camadas de pontos de controle, bloqueando efetivamente os poluentes de entrar na sala limpa, juntamente com o pessoal e materiais.
Seleção de equipamentos avançados para obter controle preciso
- Sensores de pressão de alta precisão: Os sensores de pressão de alta precisão desenvolvidos de forma independente pela Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. têm um excelente desempenho.que pode capturar com precisão as alterações de pressão em cada área da oficina em tempo real, assegurando a detecção imediata de flutuações anormais de pressão e proporcionando uma base sólida para tomar contramedidas oportunas.
- Sistema de controlo de ventilação inteligente: Este sistema está estreitamente ligado a sensores de pressão de alta precisão, podendo, de acordo com os valores de diferença de pressão pré-estabelecidos, ajustar automaticamente e com precisão a velocidade do ventilador e a abertura da válvula,alcançar um controlo inteligente e refinado do fluxo de arUma vez que detecta que a pressão numa determinada área é inferior ao valor definido, o sistema reagirá rapidamente.aumento automático do volume de abastecimento de ar ou redução do volume de escape de ar para restaurar rapidamente a pressão ao nível normal.
Manutenção e gestão abrangentes para proteger continuamente a estabilidade da diferença de pressão
Calibração e manutenção regulares para assegurar o desempenho do equipamento
Calibrar rigorosamente os sensores de pressão a cada seis meses para garantir a precisão e a fiabilidade dos dados de medição.realizar regularmente uma inspecção completa do equipamento de ventilação;, verifique cuidadosamente se os rotores dos ventiladores estão desgastados, se as válvulas podem abrir e fechar normalmente, etc.,e substituir os componentes envelhecidos ou danificados em tempo útil para garantir que o equipamento esteja sempre na melhor condição de funcionamento.
Realização de formação profissional para melhorar as capacidades do pessoal
Realizar uma formação sistemática do pessoal da oficina sobre os conhecimentos de controlo da diferença de pressão do fluxo de ar;permitir-lhes compreender profundamente a importância do controlo da diferença de pressão e os métodos de manipulação de situações anormaisQuando ocorre um alarme de diferença de pressão, o pessoal pode analisar rapidamente as possíveis causas, tais como falhas de equipamento e fugas de tubulação,e tomar medidas eficazes de forma oportuna para garantir a continuidade e estabilidade da produção da oficina.
Análise aprofundada dos dados e otimização contínua das soluções
Construir um sistema profissional de monitorização de dados de diferença de pressão do fluxo de ar e conduzir uma análise aprofundada dos dados de pressão acumulados a longo prazo.Os problemas potenciais podem ser claramente detectadosPor exemplo, se a pressão nalgumas zonas flutua frequentemente, pode ser devido a falhas no equipamento ou a uma distribuição de ar não razoável,e então ajustamentos de otimização direcionados podem ser feitos para melhorar continuamente as soluções de controle de diferença de pressão do fluxo de ar.
Com uma profunda acumulação técnica e uma rica experiência em projetos, a Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. can not only provide high - quality purification equipment but also customize a full - range of airflow pressure difference control solutions and complete post - maintenance services for your semiconductor cleanroomSe estiver a planear construir uma sala limpa de semicondutores ou encontrar problemas relacionados durante a operação de uma oficina existente, por favor, sinta-se à vontade para nos contactar.Vamos trabalhar juntos para criar um ambiente de produção semicondutor limpo líder da indústria e contribuir para o desenvolvimento da indústria de semicondutores.