2025-01-02
Na era do rápido desenvolvimento tecnológico, os chips quânticos, como componentes centrais no campo da tecnologia de ponta, têm requisitos extremamente rigorosos para o ambiente de fabricação. A Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., uma fabricante profissional de equipamentos de purificação com anos de experiência no setor, revelará hoje o processo de construção de salas limpas para a fabricação de chips quânticos.
O primeiro passo na construção de uma sala limpa para chips quânticos é de grande importância. É necessário ter um profundo conhecimento de cada etapa do processo de fabricação de chips. Desde a litografia, gravação, deposição até a embalagem e outros processos, diferentes etapas têm diferentes requisitos para parâmetros ambientais como temperatura, umidade, número de partículas de poeira e controle eletrostático. Comunique-se de perto com as empresas de fabricação de chips. Com base em sua escala de produção e rotas técnicas, determine com precisão a área e o layout da oficina e planeje as direções de fluxo de pessoal, materiais e produtos para garantir que os três fluxos não interfiram entre si e evitem a contaminação cruzada, lançando uma base sólida para uma produção eficiente no futuro.
A fabricação de chips quânticos geralmente requer um nível de purificação extremamente alto, comumente ISO Classe 3 ou até superior. Isso significa que o número de partículas de poeira maiores que 0,1 micrômetros por metro cúbico de ar deve ser estritamente controlado para números de um dígito. De acordo com a precisão do processo de fabricação de chips, determine os níveis de purificação de diferentes áreas, como a área de litografia e a área de teste ultralimpa, a fim de configurar equipamentos de purificação direcionados, garantindo que o chip não seja perturbado por impurezas de poeira no nível micro e garantindo a taxa de rendimento do chip.
A estrutura arquitetônica da oficina deve ser adaptada aos requisitos de purificação. As paredes, pisos e tetos devem ser feitos de materiais herméticos, lisos, fáceis de limpar e antiestáticos. Placas de aço revestidas com tinta podem ser selecionadas para as paredes, com juntas sem emendas; epóxi autonivelante pode ser usado para o piso, que é resistente ao desgaste, resistente à corrosão e antiestático; o teto é projetado para ser acessível para pessoas, o que é conveniente para a manutenção posterior do equipamento. Filtros de ar de alta eficiência (HEPA) e filtros de ar de penetração ultrabaixa (ULPA) são instalados para garantir o fornecimento uniforme de ar e efeitos de purificação estáveis e duradouros.
Este é o elo central, consistindo em unidades de ar condicionado, dutos de ar de suprimento e retorno, filtros, etc. A unidade de ar condicionado deve ter múltiplas funções, como refrigeração, aquecimento, umidificação, desumidificação e filtragem de ar, regulando com precisão a temperatura e a umidade com uma faixa de erro muito pequena. Os dutos de ar de suprimento e retorno são razoavelmente planejados de acordo com o layout da oficina, e chapas de aço galvanizado de alta qualidade são usadas para garantir a estanqueidade e evitar vazamentos de ar que causem falha na purificação. Os filtros em todos os níveis funcionam passo a passo. O filtro primário remove poeira de partículas grandes, o filtro de eficiência média purifica ainda mais o ar, e os filtros de alta eficiência e ultra-alta eficiência fornecem um ar ultralimpo quase estéril e livre de poeira para a área de fabricação de chips.
Os chips quânticos são extremamente sensíveis à eletricidade estática. Uma pequena descarga eletrostática pode danificar o chip. Equipamentos profissionais de eliminação eletrostática, como ventiladores de íons e sistemas de aterramento eletrostático, são instalados na oficina para garantir que o potencial eletrostático esteja dentro do limite seguro. Ao mesmo tempo, considerando as microvibrações geradas pela operação do equipamento e pelo movimento do pessoal, designs de absorção de choque são adotados a partir da fundação do edifício, e almofadas de absorção de choque também são instaladas para a instalação do equipamento para evitar que as microvibrações sejam transmitidas e afetem a precisão de processos de precisão, como a litografia de chips.
Um fornecimento estável e confiável de água, eletricidade e gás é a garantia para a operação da oficina. O sistema de água pura fornece fontes de água de alta pureza para a fabricação de chips, atendendo às necessidades de processos como limpeza e gravação, e a qualidade da água atinge o padrão de água ultrapura de grau eletrônico. O sistema de energia adota uma fonte de alimentação de circuito duplo, equipado com uma fonte de alimentação ininterrupta (UPS) para lidar com quedas de energia repentinas e garantir a operação contínua de equipamentos essenciais. O sistema de gás distribui com precisão gases especiais como nitrogênio e argônio. Os dutos são rigorosamente selados e purgados para evitar que a contaminação por gás afete a qualidade do chip.
Equipamentos de purificação e equipamentos de produção são instalados em sequência. Eles devem ser instalados em estrita conformidade com as especificações de instalação para garantir que o equipamento esteja nivelado, estável e bem conectado. Após a instalação, o comissionamento conjunto é realizado. Simule as condições de produção, teste abrangentemente o efeito de purificação, controle de temperatura e umidade e intertravamento de equipamentos, e ajuste repetidamente os parâmetros até que todos os indicadores atendam aos requisitos de projeto, criando um ambiente de fabricação perfeito para a produção formal de chips quânticos.
A Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., com sua equipe profissional e tecnologia avançada, controla cada detalhe do processo de construção de salas limpas para chips quânticos, ajudando as empresas de tecnologia quântica a atingir um nível mais alto e embarcar em uma nova jornada de produção em massa de chips quânticos. Se você tiver requisitos para a construção de salas limpas, entre em contato conosco. Vamos trabalhar juntos para criar um futuro tecnológico!