Soluções de salas limpas para a indústria de semicondutores e eletrônicos

• Exigências de limpeza extrema: Dominado por graus ISO 5-7 (Classe 100-10.000), com áreas de embalagem avançadas que exigem ISO 4 (Classe 10) para controlar partículas ≥0,1μm.
• Controle multidimensional: Gerenciar simultaneamente temperatura (20-24℃±0,1℃), umidade (40-50%±2%), vibração (≤50μm/s) e eletricidade estática (≤100V).
• Padrões internacionais: Deve estar em conformidade com SEMI S2, ISO 14644 e GMP para eletrônicos, com requisitos rigorosos de isolamento de processo entre diferentes estágios de produção.

• Hierarquia de filtragem: Pré-filtro (G4) + filtro de eficiência média (F9) + filtro de sub-alta eficiência (H13) + filtro ULPA terminal (99,999% de eficiência para partículas ≥0,12μm).
• Design do fluxo de ar: Fluxo unidirecional de cobertura total (0,45m/s±20%) em áreas principais, com taxas de troca de ar de até 500 vezes/hora.
• Controle de pressão: Diferença de pressão gradiente (≥5Pa entre zonas adjacentes) para evitar contaminação cruzada.

• Gerenciamento de materiais: Eclusas para materiais recebidos, procedimentos dedicados de desembalagem e limpeza e água ultra pura (18,2MΩ·cm) com COT ≤10ppb.
• Tratamento de superfície: Paredes de aço inoxidável soldadas (304/316L), pisos de PVC sem costura e selantes sem silicone.
• Controle químico: Sistemas de exaustão local para processos de gravação, com eficiência de remoção de gases ácidos ≥99%.

• Monitoramento inteligente: Contadores de partículas em tempo real, sensores de temperatura/umidade e sistemas de controle centralizados baseados em IoT.
• Otimização de energia: Unidades de recuperação de calor (economia de energia ≥30%), ventiladores de frequência variável e iluminação LED para salas limpas.
• Protocolos de manutenção: Teste trimestral de integridade do filtro HEPA/ULPA, verificação mensal da velocidade do fluxo de ar e validação anual de desempenho abrangente.

• Miniaturização: Desenvolvimento em direção a salas limpas ISO 3 (Classe 1) para se adaptar a nós de processo de 3nm e menores.
• Inovação verde: Adoção de materiais de baixo VOC e integração de energia renovável.
• Transformação digital: Manutenção preditiva baseada em IA e gêmeos digitais para comissionamento virtual.

As salas limpas de semicondutores exigem um equilíbrio entre limpeza extrema, estabilidade do processo e eficiência operacional. Ao integrar tecnologia avançada de filtragem, controle ambiental preciso e sistemas de gerenciamento inteligente, essas instalações críticas suportam a produção de componentes eletrônicos de alto desempenho.