A sala limpa pré-fabricada modular é um tipo de sala limpa, que pode melhorar rapidamente a limpeza do equipamento.Área de reunião área local purificar ocasiões.
Modular pré-fabricado sala limpa adotar para FFU gerando ventos, com alumínio industrializado ((aço inoxidável ou de pintura de aço) como é estrutura e autocolante estático livre ((ou vidro de carbono),Pode fazer a limpeza da sala limpa atingir 10-300K.
| FED STD 209E | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Nível | >=0,1um | >=0,2um | >= 0,3um | >= 0,5um | >= 5um | Equivalente |
| 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ISO3 | |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | ISO4 | |
| 100 | 100 | ISO5 | ||||
| 1000 | 1000 | 7 | ISO6 | |||
| 10000 | 10000 | 70 | ISO7 | |||
| 100000 | 100000 | 700 | ISO8 | |||
| Normas ISO 14644-1 para salas limpas | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Nível | >=0,1um | >=0,2um | >= 0,3um | >= 0,5um | >= 1m | >= 5um | Equivalente |
| ISO1 | 10 | 2 | |||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
| ISO4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
| ISO5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
| ISO6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
| ISO7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
| ISO8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
| ISO9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | Ar do quarto | |||
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